基板液处理装置、基板液处理装置之控制方法及使基板液处理装置实施基板液处理装置之控制方法的记录媒体

摘要

明之基板液处理装置，具备：用以保持基板的载置台；用以使载置台旋转的旋转驱动部；用以对载置于载置台之前述基板供给液体的液体供给部；用以将从载置于载置台而旋转之基板所飞散之液体导引至下方，而从上而下依序配设之液体导引上部罩杯、液体导引罩杯及液体导引下部罩杯。液体导引上部罩杯、液体导引罩杯及液体导引下部罩杯，系利用驱动机构进行昇降。驱动机构，系连结于液体导引罩杯。

主权项

一种基板液处理装置，其特征为含有：载置台，其系用以保持基板；旋转驱动部，其系用以使前述载置台进行旋转；液体供给部，其系用以对载置于前述载置台之前述基板供给液体；液体导引上部罩杯、液体导引中央罩杯及液体导引下部罩杯，其系用以将从载置于前述载置台而旋转之前述基板所飞散的液体导引至下方，而从上而下依序配设；以及驱动机构，其系用以使前述液体导引上部罩杯、前述液体导引中央罩杯及前述液体导引下部罩杯进行昇降；且前述驱动机构，其系连结于前述液体导引中央罩杯，前述液体导引上部罩杯系藉由被前述液体导引中央罩杯支撑而上昇，藉由以前述驱动机构使前述液体导引中央罩杯上昇，前述液体导引中央罩杯，于其上昇移动区间之部分区间，从前述液体导引上部罩杯及前述液体导引下部罩杯单独上昇，另一方面，于其上昇移动区间之其他部分区间，支撑前述液体导引上部罩杯，前述液体导引中央罩杯及前述液体导引上部罩杯同时上昇。