热处理装置

摘要

热处理装置，系具备有：反应管，系延伸于第1方向上；支撑体，系收容于该反应管内，可沿着该第1方向来将复数基板加以多段式支撑；复数气体供给管，系于该反应管侧面沿着该第1方向隔着间隔来配置排列而设置，对该反应管之内部供给气体；板状构件，系于该反应管内配置在该复数气体供给管之开口端与收容在该反应管内之该支撑体之间，设有分别对应于该复数气体供给管之复数开口部；以及加热部，系配置于该反应管之外侧。

主权项

一种热处理装置，系具备有：反应管，系延伸于长边方向上；支撑体，系收容于该反应管内，可沿着该长边方向来将复数基板加以多段式支撑；复数气体供给管，系于该反应管侧面沿着该第1方向隔着间隔来配置排列而设置，对该反应管之内部供给气体；板状构件，系于该反应管内配置在该复数气体供给管之开口端与收容在该反应管内之该支撑体之间，设有开口部，该开口部包含有对应于该复数气体供给管之开口端以上下左右线对称的方式所形成的复数狭缝；以及加热部，系配置于该反应管之外侧；该复数狭缝分别具有：相对于长边方向往上逐渐变宽地倾斜之1组的第1狭缝；以及与该第1狭缝并排而往下逐渐变宽地相对于该第1狭缝呈逆倾斜之1组的第3狭缝。