ジルコン酸チタン酸鉛単結晶成長方法

摘要

ジルコン酸チタン酸鉛(PZT)及び他のペロブスカイトの単結晶の成長は、適切な構造及び格子パラメーターが整合している基板上に対する液相エピタキシによって達成される。安定成長のために溶媒及び特定の成長条件は、Zr及びTiの所望の割合を達成するために必要である。