| 发明名称 |
铜／钛系多层薄膜用的蚀刻液 |
| 摘要 |
明提供一种含有铜层及钛层之多层薄膜用的蚀刻液及使用该多层薄膜用的蚀刻液之含有铜层及钛层之多层薄膜的蚀刻方法。 |
| 申请公布号 |
TWI518206 |
申请公布日期 |
2016.01.21 |
| 申请号 |
TW100103391 |
申请日期 |
2011.01.28 |
| 申请人 |
三菱瓦斯化学股份有限公司;夏普股份有限公司 |
发明人 |
安谷屋智幸;冈部哲;后藤敏之;丸山岳人;小林和树;田中惠一;中村涉;纪藤贤一;田中哲宪 |
| 分类号 |
C23F1/18(2006.01);C23F1/26(2006.01);H01L21/306(2006.01) |
主分类号 |
C23F1/18(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
周良谋;周良吉 |
| 主权项 |
一种含有铜层及钛层的多层薄膜用的蚀刻液，包含(A)过氧化氢4.5~7.5质量%、(B)硝酸3~6质量%、(C)氟离子供给源0.1~0.5质量%、(D)唑(azole)类0.1~0.5质量%、(E)第四级氢氧化铵3~6质量%及(F)过氧化氢安定剂0.01~0.1质量%，且pH为1.5~2.5。
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| 地址 |
日本;日本 |
