分散式多区电浆源系统、方法及设备

摘要

室包括位于处理室顶部的多个电浆源。各个电浆源是包括一次线圈及多重铁氧体的环形电浆源。本文亦描述有电浆处理系统及电浆处理的方法。

主权项

一种电浆处理室，包含：复数个电浆源，位于处理室顶部，其中该电浆源各者是环形电浆源，且该电浆源各者包含：环形电浆室；一次线圈；及复数个铁氧体；复数个电浆室出口部，将该复数个电浆源各者的环形电浆室耦合至该处理室。