对操作电浆制程之系统进行调谐的方法

摘要

明之实施例大体而言提供一种用于在广制程窗口(wide process window)内进行脉冲电浆制程之方法及设备。在某些实施例中，一设备可包括一具有调频之RF电源及一耦接至该RF电源之匹配网路，该RF电源与该匹配网路共用一通用感应器，该通用感应器用于读取反射回该RF电源之反射RF功率。在某些实施例中，一设备可包括一具有调频之RF电源、一耦接至该RF电源之匹配网路及一用于调谐各个该RF电源及该匹配网路之通用控制器，该RF电源与该匹配网路共用一通用感应器，该通用感应器用于读取反射回该RF电源之反射RF功率。

主权项

一种以一时间分解方式使用一源RF电源及一偏压RF电源对一操作一电浆制程之系统进行调谐之方法，每一电源能够进行调频且分别经由一源匹配网路及一偏压匹配网路耦接至一制程腔室，该方法包含下列步骤：使用该源RF电源及该偏压RF电源在一制程腔室中激发一电浆，每一电源设定于一连续波模式及一固定频率模式，该源匹配网路及该偏压匹配网路各自设定为一自动调谐模式；在该等匹配网路调节以减小来自该源RF电源及该偏压RF电源两者之反射功率之后，将该源匹配网路更改为锁定模式(hold mode)，同时将该偏压匹配网路保持在自动模式；开启该源RF电源之调频，同时将该偏压RF电源的调频保持关闭状态；开启该源RF电源及/或该偏压RF电源之一脉冲模式；及将该偏压RF电源置于调频模式。