| 摘要 |
リソグラフィ装置用の放射源は、燃料液滴を点火位置において点火してＥＵＶ放射を生成する複数のファイバレーザを使用する。光軸に平行に放出するようにファイバレーザを設けてよく、レーザを点火位置に集束させるように望遠鏡光学システムを設けてよく、又は、ビームウエストを低減させるのに用いられる最終集束レンズを使用して、レーザを光軸に向かって誘導してよい。レーザを個別に制御することができるように、レーザを２つ以上のグループとして設けてよく、レーザのいくつかを別の位置に集束させてプレパルスを提供してよい。ダイクロイックミラーを用いてファイバレーザからの放射を合成してもよい。【選択図】図４ |
