| 发明名称 |
顶涂层组成物、使用组成物之硷显影剂可溶性顶涂层薄膜及使用它之图案形成方法 |
| 摘要 |
明提供一种欲涂布在光阻膜上之顶涂层组成物，此顶涂层组成物包括：(A)一种硷溶性树脂；(B)一种含Si原子与F原子至少之一且增加顶涂层薄膜表面上接触角的化合物；及(C)一种溶剂。 |
| 申请公布号 |
TWI518461 |
申请公布日期 |
2016.01.21 |
| 申请号 |
TW097143984 |
申请日期 |
2008.11.14 |
| 申请人 |
富士软片股份有限公司 |
发明人 |
汉那慎一 |
| 分类号 |
G03F7/11(2006.01);G03F7/004(2006.01);H01L21/027(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/11(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
何金涂 |
| 主权项 |
一种欲涂布于光阻膜上形成顶涂层薄膜之顶涂层组成物，其包含：(A)硷溶性树脂；(B)含Si原子与F原子至少之一且增加顶涂层薄膜表面上接触角的化合物；及(C)溶剂；其中该溶剂(C)含醇溶剂；该树脂(A)具有由下述式(1)或(2)表示之极性基：
其中R1与R2为相同或不同，而且各独立地表示氢原子或烷基，且R1与R2可彼此组合形成环；
其中R3表示烷基或环烷基；该化合物(B)为一种具有含氟原子烷基、含氟原子环烷基或含氟原子芳基作为含氟原子部分结构、及烷基矽烷基结构或环形矽氧烷结构作为含矽原子部分结构中至少一者之树脂；且该顶涂层组成物不包含光酸产生剂。
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| 地址 |
日本 |
