| 摘要 |
フッ酸（ＨＦ）エッチング処理により５μｍ以上薄板化された板厚０．４ｍｍ以下の無アルカリガラス基板であって、比弾性率が３２ＭＮｍ／ｋｇ以上、光弾性定数が３１ｎｍ／ＭＰａ／ｃｍ以下で、当該基板のガラスが、歪点が７１０℃以上、５０〜３５０℃での平均熱膨張係数が３０?１０−７〜４３?１０−７／℃、粘度が１０２ｄＰａ・ｓとなる温度Ｔ２が１７１０℃以下、粘度が１０４ｄＰａ・ｓとなる温度Ｔ４が１３２０℃以下のもので、当該ガラスの組成が、酸化物基準のモル％表示でＳｉＯ２６６〜７０、Ａｌ２Ｏ３１２〜１５、Ｂ２Ｏ３０〜１．５、ＭｇＯ ９．５超１３以下、ＣａＯ ４〜９、ＳｒＯ ０．５〜４．５、ＢａＯ ０〜１、ＺｒＯ２０〜２で、ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯが１７〜２１、ＭｇＯ／（ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ）が０．４０以上、ＭｇＯ／（ＭｇＯ＋ＣａＯ）が０．４０以上、ＭｇＯ／（ＭｇＯ＋ＳｒＯ）が０．６０以上である無アルカリガラス基板に関する。 |
