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经营范围
发明名称
照明装置、処理装置、及びデバイス製造方法
摘要
照明装置(IU)は、第1の光源部(21a)と、第1の光源部と光の出射方向が異なる第2の光源部(21b)と、第1の光源部からの光と第2の光源部からの光の進行方向を揃えるように、光の少なくとも一部を偏向する偏向部(22)と、を備える。第1の光源部と第2の光源部は、各光源部から出射して偏向部を経由した光が入射する照明領域が所定方向に連続して並ぶように、所定方向において異なる位置に配置されている。
申请公布号
JPWO2013179977(A1)
申请公布日期
2016.01.21
申请号
JP20140518406
申请日期
2013.05.22
申请人
株式会社ニコン
发明人
根岸 武利;福井 達雄
分类号
G03F7/20;G02B19/00;G02F1/13;H01L21/027
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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