静电吸附盘多回路电极结构

摘要

作系为一种静电吸附盘多回路电极结构，系为避免外在影响破坏，造成双回路有电极放电现象，而影响产品产品良率，故研发一种可简易回避损坏的区域回路，并继续使用其他回路，以原静电吸附盘吸附产品，并延迟使用时间及省去成本。

主权项

一种静电吸附盘多回路电极结构，其中：静电吸附盘，系具有一聚醯亚胺弹性层，覆盖于一吸附面上，并藉由直流电而产生静电，使该静电吸盘增加吸附力；回路层，系具有附数个回路层且并联排列，并依序设置于该静电吸附盘上。