晶圆定位机构及晶圆盒

摘要

晶圆定位机构，包括一底座、一连结棒及一推动元件。底座具有一阻挡部。连结棒系枢接于底座之上，并且具有一弹性部。推动元件系枢接于连结棒之上。当推动元件系位于一保持位置处时，弹性部系抵接阻挡部，以及由连结棒所产生之一力系被施加于推动元件。

主权项

一种晶圆定位机构，包括：一底座，具有一阻挡部；一连结棒，枢接于该底座之上，并且包括：一弹性部；一连结体，枢接于该底座之上，其中，该弹性部系设置于该连结体之上；一连结轴，设置于该连结体之上；以及一推动元件，枢接于该连结棒之上，其中，当该推动元件系位于一保持位置处时，该弹性部系抵接该阻挡部，以及由该连结棒所产生之一力系被施加于该推动元件。