发明名称 |
半导体装置及其制造方法 |
摘要 |
明提供一种半导体装置,包括:一半导体晶粒;一接着层,于半导体晶粒之一第一侧;一塑形化合物,围绕半导体晶粒与接着层,其中塑形化合物与接着层齐平;一第一后钝化内连线(post-passiviation interconnect,PPI),电性连接至半导体晶粒之一第二侧;一第一连接器,电性连接至第一PPI,其中第一连接器位于塑形化合物上并对准塑形化合物。
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申请公布号 |
TWI518858 |
申请公布日期 |
2016.01.21 |
申请号 |
TW102141844 |
申请日期 |
2013.11.18 |
申请人 |
台湾积体电路制造股份有限公司 |
发明人 |
茅一超;张进传;洪瑞斌;林俊成 |
分类号 |
H01L23/488(2006.01);H01L21/60(2006.01) |
主分类号 |
H01L23/488(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
洪澄文;颜锦顺 |
主权项 |
一种半导体装置,包括:一半导体晶粒,包括:一第一接合垫,位于一基底之上;一第一钝化层,位于该基底及该接合垫之上,该第一钝化层为一保角层(conformal layer);一第二钝化层,位于该第一钝化层之上;以及一第一金属柱,直接地接触该第一接合垫且延伸贯穿该第一钝化层及该第二钝化层;一接着层,于该半导体晶粒之一第一侧;一塑形化合物,围绕该半导体晶粒与该接着层,其中该塑形化合物与该接着层齐平;一第一后钝化内连线(post-passiviation interconnect,PPI),直接地接触该第一金属柱,该第一金属柱电性连接该第一接垫层至该第一PPI;以及一第一连接器,电性连接至该第一PPI,其中该第一连接器位于该塑形化合物上并对准该塑形化合物。
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地址 |
新竹市新竹科学工业园区力行六路8号 |