发明名称 半导体装置及其制造方法
摘要 明提供一种半导体装置,包括:一半导体晶粒;一接着层,于半导体晶粒之一第一侧;一塑形化合物,围绕半导体晶粒与接着层,其中塑形化合物与接着层齐平;一第一后钝化内连线(post-passiviation interconnect,PPI),电性连接至半导体晶粒之一第二侧;一第一连接器,电性连接至第一PPI,其中第一连接器位于塑形化合物上并对准塑形化合物。
申请公布号 TWI518858 申请公布日期 2016.01.21
申请号 TW102141844 申请日期 2013.11.18
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 茅一超;张进传;洪瑞斌;林俊成
分类号 H01L23/488(2006.01);H01L21/60(2006.01) 主分类号 H01L23/488(2006.01)
代理机构 代理人 洪澄文;颜锦顺
主权项 一种半导体装置,包括:一半导体晶粒,包括:一第一接合垫,位于一基底之上;一第一钝化层,位于该基底及该接合垫之上,该第一钝化层为一保角层(conformal layer);一第二钝化层,位于该第一钝化层之上;以及一第一金属柱,直接地接触该第一接合垫且延伸贯穿该第一钝化层及该第二钝化层;一接着层,于该半导体晶粒之一第一侧;一塑形化合物,围绕该半导体晶粒与该接着层,其中该塑形化合物与该接着层齐平;一第一后钝化内连线(post-passiviation interconnect,PPI),直接地接触该第一金属柱,该第一金属柱电性连接该第一接垫层至该第一PPI;以及一第一连接器,电性连接至该第一PPI,其中该第一连接器位于该塑形化合物上并对准该塑形化合物。
地址 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号