发明名称 梳型电极之制造方法
摘要 明课题为提供一种梳型电极之制造方法,系可在微细形状的集电体表面以高精密度担持大量的活性物质。
申请公布号 TWI518752 申请公布日期 2016.01.21
申请号 TW100112662 申请日期 2011.04.12
申请人 东京应化工业股份有限公司;公立大学法人首都大学东京 发明人 浅井隆宏;三隅浩一;小野贵司;金村圣志;栋方裕一
分类号 H01L21/28(2006.01) 主分类号 H01L21/28(2006.01)
代理机构 代理人 林志刚
主权项 一种二次电池用梳型电极之制造方法,其系正极及负极分别形成梳子状,前述正极及负极系以梳子状的梳齿部分交错组合的方式对向配置之梳型电极之制造方法,其特征为具有:在基材表面形成导电层,使该导电层图型化成为至少一对梳子状而形成集电体之集电体形成步骤;在含有于集电体形成步骤所形成的集电体部分之前述基材表面,涂布光阻组成物而形成光阻层之光阻涂布步骤;藉由透过光罩对前述光阻层的表面照射光线进行显像,而将前述光阻层中位于前述集电体上部的部分除去,并在前述集电体上方形成用于形成正极或负极的导孔之导孔形成步骤,及以前述导孔为铸型,使在集电体的表面形成活性物质层的活性物质层形成步骤,而前述光阻组成物系下述(1)~(4)之光阻组成物之任一者,(1)含有具有环氧基的化合物及阳离子聚合起始剂之阳离子聚合系光阻组成物,(2)含有酚醛树脂及感光剂之酚醛系光阻组成物,(3)含有树脂及光酸产生剂之化学增幅系光阻组成物;而该树脂系具有酸解离性脱离基,该脱离基藉着因为曝光而由光酸产生剂产生的酸之作用而脱离,以增加硷可 溶性,(4)含有:具有乙烯性不饱和键的单体及/或树脂、以及自由基聚合起始剂,且在含有具有乙烯性不饱和键的单体的情况下,该单体一分子中所含的乙烯性不饱和键为3个以下之自由基聚合系光阻组成物。
地址 日本;日本