抛光垫及其制造方法

摘要

明系针对具有多孔抛光层之抛光垫、制造该等抛光垫之方法，及在抛光制程中使用该等垫之方法。该抛光垫包括具有第一及第二对侧之柔性层，及安置于该柔性层之该第一侧上的多孔抛光层。该多孔抛光层包括包含热固化组分及辐射固化组分之交联网状结构，其中该辐射固化组分及该热固化组分共价键结于该交联网状结构中。该多孔抛光层亦包括分散于该交联网状结构内之聚合物颗粒，其中该等聚合物颗粒包含热塑性聚合物或热固性聚合物中之至少一者。该多孔抛光层通常亦包括分散于该交联网状结构内之封闭气室式孔。

主权项

一种抛光垫，其包含：具有第一及第二对侧之柔性层；及安置于该柔性层之该第一侧上的多孔抛光层，该多孔抛光层包含：包含热固化组分及辐射固化组分之交联网状结构，其中该辐射固化组分及该热固化组分共价键结于该交联网状结构中；分散于该交联网状结构内之聚合物颗粒；及分散于该交联网状结构内之封闭气室式孔。