| 摘要 |
본 발명은 캔틸레버 마운트 시 발생되는 오차를 상쇄하기 위해 탐침현미경의 동작 순서 중, 광학빔 정렬단계에 해당하는 것으로 PSPD 검출기의 원점 정렬 이후, PSPD 검출기를 새로운 좌표를 생성하고, 새로운 좌표로 변환 또는 보정하여 탐침현미경의 정밀도를 향상시키기 위한 방법, 이를 이용한 탐침현미경을 제공하는 데에 있다. 이를 위하여 일단은 분석 대상인 샘플의 표면 특성과 연동되는 팁이 구비되고 샘플의 원자와의 힘에 의해 동작변위, 동작주파수 및 휨정도 중 적어도 하나가 변화하는 캔틸레버; 캔틸레버의 상부면에 입사되는 광학빔을 생성하는 광원; 광원과 캔틸레버 중 적어도 하나를 이동 또는 진동시켜서 광학빔의 입사위치를 이동시키는 구동부; 캔틸레버에서 반사된 광학빔을 검출하여, 이동되는 광학빔의 입사위치에 대응되는 제1신호를 제1좌표 상에서 생성하는 검출기; 및 검출기에서 검출된 제1신호를 토대로 제2좌표를 산출하는 좌표산출부;를 포함하고, 산출된 제2좌표를 토대로 캔틸레버의 동작변위, 동작주파수 및 휨정도 중 적어도 하나를 측정하여, 샘플의 표면 특성을 분석하는 것을 특징으로 하는 검출기의 좌표보정이 가능한 탐침현미경이 제공된다. 이에 따르면 정밀한 탐침현미경 구현이 가능해지는 효과가 있다. 또한 자동으로 검출기의 좌표를 보정하는 것이 가능하도록 구성할 수 있는 효과가 있다. |
