| 发明名称 |
光阻用树脂组成物 |
| 摘要 |
一种具有良好之敏感度、解像度、高残膜性，并且其他特性亦不劣于通用者之光阻用树脂组成物。该光阻用树脂组成物含有高邻位酚醛清漆型酚树脂、萘醌二叠氮衍生物及溶剂，该高邻位酚醛清漆型酚树脂系于酸触媒之存在下，在110-220℃之温度下使间甲酚、对甲酚、选自3,5-二甲苯酚及2,3,5-三甲苯酚中之一种或二种酚类，以及醛类进行反应而获得者。
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| 申请公布号 |
TWI518117 |
申请公布日期 |
2016.01.21 |
| 申请号 |
TW101105773 |
申请日期 |
2012.02.22 |
| 申请人 |
住友电木股份有限公司 |
发明人 |
今村裕治 |
| 分类号 |
C08G8/04(2006.01);C08L61/06(2006.01);G03F7/022(2006.01) |
主分类号 |
C08G8/04(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
阎启泰;林景郁 |
| 主权项 |
一种光阻用树脂组成物，其含有高邻位酚醛清漆型酚树脂(high-ortho novolak type phenolic resin)、萘醌二叠氮衍生物(naphthoquinone diazide derivative)及溶剂，该高邻位酚醛清漆型酚树脂系于酸触媒之存在下，在110-220℃之温度下使间甲酚、对甲酚、选自3,5-二甲苯酚及2,3,5-三甲苯酚中之一种或二种酚类，以及醛类进行反应而获得者，该高邻位酚醛清漆型酚树脂之邻位化率为23%以上。
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| 地址 |
日本 |
