发明名称 |
存储装置 |
摘要 |
本发明公开了一种存储装置,包括一存储阵列以及至少一阱电压提取区。存储阵列,包括多个垂直晶体管,分别电耦合至相应的字线与埋藏位线,其中字线沿着第一方向延伸,而埋藏位线沿着第二方向延伸。此外,阱电压提取区沿着第二方向穿越存储阵列,将存储阵列区隔成第一次存储阵列区及第二次存储阵列区。 |
申请公布号 |
CN103378084B |
申请公布日期 |
2016.01.20 |
申请号 |
CN201210107973.6 |
申请日期 |
2012.04.13 |
申请人 |
南亚科技股份有限公司 |
发明人 |
陈逸男;徐文吉;叶绍文;刘献文 |
分类号 |
H01L27/02(2006.01)I;H01L27/105(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/02(2006.01)I |
代理机构 |
深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 |
代理人 |
江耀纯 |
主权项 |
一种存储装置,其特征在于,包括:一半导体衬底,包含数条字线,沿着第一方向延伸;数条沟槽,位于所述半导体衬底中,沿着第二方向延伸;数条埋藏位线,位于所述沟槽中;存储阵列,包括多个垂直晶体管位于所述半导体衬底中且被所述沟槽分隔开,分别电耦合至相应的所述字线与所述埋藏位线;以及至少一阱电压提取区,沿着所述第二方向穿越所述存储阵列,将所述存储阵列区隔成第一次存储阵列区及第二次存储阵列区。 |
地址 |
中国台湾桃园县 |