多晶炉长晶速度自动测量装置及其测量方法

摘要

本发明提供了一种多晶炉长晶速度自动测量装置及其测量方法，其中，多晶炉长晶速度自动测量装置包括用于与多晶炉中的晶锭接触的石英棒；驱动石英棒运动的驱动气缸；安装于所驱动装置上的位置传感器；安装于驱动装置与石英棒之间的第一压力传感器；对测量过程进行参数设定并显示测量结果的人机界面；分别与驱动装置、位置传感器、第一压力传感器和人机界面电连接，并控制驱动装置驱动石英棒上升或下降的PLC。同时，本发明还提供了基于多晶炉长晶速度自动测量装置的多晶炉长晶速度自动测量方法。装置和方法可以使测量人员得以解放，并且装置结构简单、操作便捷，提高了长晶速度的测量效率。

主权项

一种多晶炉长晶速度自动测量装置，其特征在于，包括：用于与多晶炉中的晶锭接触的石英棒；用于驱动所述石英棒上下直线运动的驱动装置；安装于所述驱动装置上，用于测量所述驱动装置的运行行程的位置传感器；安装于所述驱动装置与所述石英棒之间，用于判断所述石英棒是否与所述晶锭接触的第一压力传感器；用于对测量过程进行参数设定并显示测量结果的人机界面；所述人机界面输入的参数包括测量周期和所述第一压力传感器的感应压力值；分别与所述驱动装置、所述位置传感器、所述第一压力传感器和所述人机界面电连接，用于接收所述人机界面输入的参数以及所述位置传感器和所述压力传感器所采集的信号，并根据接收到的所述第一压力传感器的信号和人机界面输入的参数值控制所述驱动装置驱动所述石英棒上升或下降的PLC；所述PLC内具有用于对接收到的来自所述位置传感器和所述第一压力传感器的信号进行计算分析，从而得到长晶速度的数值并将该数值显示于所述人机界面上的运算单元。