感光性树脂组合物、感光性干膜及图案形成方法

摘要

本发明涉及一种感光性树脂组合物、感光性干膜以及使用该感光性树脂组合物的图案形成方法，所述感光性树脂组合物包含：具有来源于含有酚性羟基和羧基的乙烯基系单体(b)的构成单元的乙烯基系共聚物(I)、醌二叠氮化合物(II)和式(5)所示的化合物(III)。根据本发明，可以提供可以形成不易发生破裂，未曝光部的膜减少小，灵敏度、分辨率良好的抗蚀剂膜的感光性树脂组合物，感光性干膜以及使用该感光性树脂组合物的图案形成方法。［式中，Y为碳原子数1～6的直链或支链的烃基；l和m分别为1～3的整数；n为1或2；p和q分别为0或1。］。

主权项

一种感光性树脂组合物，其包含：将包含具有酚性羟基的单体(a)和含有羧基的乙烯基系单体(b)的单体混合物进行聚合而得的乙烯基系共聚物(I)；醌二叠氮化合物(II)；以及下述式(5)所示的化合物(III)，Y为碳原子数1～6的直链或支链的烃基；l和m各自独立地为1～3的整数；n为1或2；p和q分别为0或1，所述醌二叠氮化合物(II)为下述式(4－2)所示的化合物或下述式(4－3)所示的化合物与选自由1,2－萘醌二叠氮基－5－磺酸和1,2－萘醌二叠氮基－4－磺酸所组成的组中的至少一种化合物所成的酯，所述醌二叠氮化合物(II)的含有比例相对于乙烯基系共聚物(I)100质量份为5～15质量份，所述化合物(III)的含有比例相对于乙烯基系共聚物(I)100质量份为2～4质量份。