| 发明名称 |
薄膜蒸着装置及びこれを利用した有機発光表示装置の製造方法 |
| 摘要 |
A thin film deposition apparatus that may be precisely aligned with a substrate during a deposition process, and a method of manufacturing an organic light-emitting display device using the thin film deposition apparatus. |
| 申请公布号 |
JP5847437(B2) |
申请公布日期 |
2016.01.20 |
| 申请号 |
JP20110118686 |
申请日期 |
2011.05.27 |
| 申请人 |
三星ディスプレイ株式會社Ｓａｍｓｕｎｇ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｃｏ．，Ｌｔｄ． |
发明人 |
柳 在 光;▲曹▼ 昌 睦;康 熙 哲 |
| 分类号 |
H05B33/10;C23C14/24;H01L51/50 |
主分类号 |
H05B33/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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