一种用于滚型纳米压印的滚轮模具

摘要

本发明涉及一种新型的用于滚型纳米压印的滚轮模具，实现UV固化滚型纳米压印对非透明衬底的压印。它包括：用于压印的具有UV光透过性的透明空心滚筒；滚筒外表面固定有具有UV光透过特性的特征结构层，特征结构层由凸形特征和凹形特征构成所要复制的特征图形；在滚筒内表面设有准直透镜；准直透镜的内表面涂有高反射涂层，在需要曝光的区域开有狭缝，准直透镜位于石英滚筒和UV光源之间，准直透镜将UV光源发射的UV光束聚焦到狭缝中心区域，并得到均匀一致的光束，通过准直透镜的狭缝对压印材料曝光固化；UV光源位于滚筒内部的中心轴线上。

主权项

一种用于滚型纳米压印的滚轮模具，其特征是， 包括：用于压印的具有 UV 光透过性的透明空心滚筒；滚筒外表面固定有具有 UV 光透过特性的特征结构层，特征结构层由凸形和凹形特征构成所要复制的特征图形；在滚筒内表面设有准直透镜；准直透镜的内表面涂有高反射层，在需要曝光的区域开有狭缝，准直透镜位于石英滚筒和 UV光源之间 ，准直透镜将UV 光源发射的UV光束聚焦到狭缝中心区域，并得均匀一致的光束，通过准直透镜的狭缝对压印材料曝光固化；UV 光源位于滚筒内部的中心轴线上；所述特征结构层的厚度0.5‑0.8毫米；所述滚筒的材料为透明石英，壁厚5‑30毫米；所述特征结构层和石英滚筒具在压印工作过程中具有旋转运动，所述准直透镜和UV光源保持静止固定不动；所述特征结构层的材料为聚氨酯丙烯酸酯或者聚二甲基硅氧烷中的一种；所述特征结构层通过粘结层与滚筒连接，粘结层具有UV光透过性；采用透明的滚轮模具，将UV光源置于滚轮模具内部，并结合准直透镜，在非透明衬底正面一侧对于压印材料曝光固化，实现滚轮型压印对于非透明衬底的压印。