发明名称 一种基于CVD法合成的单根纳米线热导率的测量方法
摘要 本发明涉及一种基于CVD法合成的单根半导体纳米线热导率的测量方法;属于材料导热性能测量技术领域。本发明取一根采用CVD法于T<sub>1</sub>温度下沉积得到的纳米线,将所取纳米线一端固定在碳导电胶上,另一端悬空,悬空部分长度为8-12微米;然后,用垂直于纳米线轴线的聚焦激光束加热悬空端的端部,然后增加聚焦激光束的净输出功率,至悬空端的端部熔融时,停止加热,同时,记录此时聚焦激光束的净输出功率p<sub>∞</sub>,然后通过扫描电镜精确测得悬空部分L的长度和直径D;再将所的数据换算成纳米线吸收的激光功率(P<sub>abs</sub>),再根据一维方向上的傅里叶热传导方程:<img file="DDA0000483320150000011.GIF" wi="988" he="120" /></maths>计算得出单根纳米线热导率K。本发明无需搭建电极,具有操作简单,成本较低等优势。
申请公布号 CN103913482B 申请公布日期 2016.01.20
申请号 CN201410119104.4 申请日期 2014.03.27
申请人 湖南大学 发明人 潘安练;任品云;朱小莉
分类号 G01N25/20(2006.01)I 主分类号 G01N25/20(2006.01)I
代理机构 长沙市融智专利事务所 43114 代理人 颜勇
主权项 一种基于CVD法合成的单根半导体纳米线热导率的测量方法,包括下述步骤:步骤一取一根采用CVD法于T<sub>1</sub>温度下沉积得到的纳米线,将所取纳米线一端固定在碳导电胶上,另一端悬空,悬空部分长度为8‑12微米;然后,用垂直于纳米线轴线的聚焦激光束加热悬空端的端部,然后增加聚焦激光束的净输出功率,至悬空端的端部熔融时,停止加热,同时,记录此时聚焦激光束的净输出功率p<sub>∞</sub>;所述聚焦激光束在过纳米线轴线且与激光束垂直的平面上的“艾里斑”的直径为D<sub>0</sub>,且“艾里斑”的圆心落在纳米线上;步骤二利用扫描电镜精确测量纳米线悬空部分的长度L和直径D;然后利用公式(1),计算得出实验纳米线的热导率K,<maths num="0001" id="cmaths0001"><math><![CDATA[<mrow><mi>k</mi><mo>=</mo><mfrac><mrow><mn>4</mn><mi>L</mi><mi>&beta;</mi><mrow><mo>(</mo><mrow><mn>1</mn><mo>-</mo><mi>&gamma;</mi></mrow><mo>)</mo></mrow><mrow><mo>(</mo><mrow><msubsup><mo>&Integral;</mo><mn>0</mn><mrow><mn>2</mn><mi>&pi;</mi></mrow></msubsup><msubsup><mo>&Integral;</mo><mn>0</mn><mrow><mi>D</mi><mo>/</mo><mn>2</mn></mrow></msubsup><mi>c</mi><mo>&times;</mo><msup><mi>e</mi><mrow><mo>-</mo><msup><mi>r</mi><mn>2</mn></msup><mo>/</mo><msup><mi>w</mi><mn>2</mn></msup></mrow></msup><mi>d</mi><mi>r</mi><mi>d</mi><mi>&theta;</mi><mo>+</mo><mn>2</mn><msubsup><mo>&Integral;</mo><mrow><mi>D</mi><mo>/</mo><mn>2</mn></mrow><mrow><msub><mi>D</mi><mn>0</mn></msub><mo>/</mo><mn>2</mn></mrow></msubsup><mi>c</mi><mo>&times;</mo><msup><mi>e</mi><mrow><mo>-</mo><mfrac><mrow><msup><mi>D</mi><mn>2</mn></msup><mo>/</mo><mn>4</mn><mo>+</mo><msup><mi>x</mi><mn>2</mn></msup></mrow><msup><mi>w</mi><mn>2</mn></msup></mfrac></mrow></msup><mo>&times;</mo><mn>2</mn><msqrt><mrow><msup><mi>D</mi><mn>2</mn></msup><mo>/</mo><mn>4</mn><mo>+</mo><msup><mi>x</mi><mn>2</mn></msup></mrow></msqrt><mo>&times;</mo><mi>arcsin</mi><mfrac><mi>D</mi><mrow><mn>2</mn><msqrt><mrow><msup><mi>D</mi><mn>2</mn></msup><mo>/</mo><mn>4</mn><mo>+</mo><msup><mi>x</mi><mn>2</mn></msup></mrow></msqrt></mrow></mfrac><mi>d</mi><mi>x</mi></mrow><mo>)</mo></mrow></mrow><mrow><msup><mi>&Delta;T&pi;D</mi><mn>2</mn></msup></mrow></mfrac><mo>-</mo><mo>-</mo><mo>-</mo><mrow><mo>(</mo><mn>1</mn><mo>)</mo></mrow></mrow>]]></math><img file="FDA0000801074070000011.GIF" wi="1658" he="294" /></maths>公式(1)中,L为纳米线悬空部分的长度;D为纳米线的直径;p<sub>∞</sub>为纳米线熔融时聚焦激光束的净输出功率,D<sub>0</sub>为“艾里斑”的直径;纳米线对所用聚焦激光束的吸收率<img file="FDA0000801074070000012.GIF" wi="298" he="109" />其中:l为光在纳米线中的传播距离,l的取值范围为0‑D;α是纳米线对所用聚焦激光束的吸收系数;γ为纳米线对所用聚焦激光束的反射率;聚焦激光束的功率面密度<maths num="0002" id="cmaths0002"><math><![CDATA[<mrow><mi>c</mi><mo>=</mo><mfrac><mrow><msub><mi>P</mi><mi>&infin;</mi></msub><mi>I</mi><mi>n</mi><mn>6.25</mn></mrow><mrow><mi>&pi;</mi><msup><mrow><mo>(</mo><mrow><msub><mi>D</mi><mn>0</mn></msub><mo>/</mo><mn>2</mn></mrow><mo>)</mo></mrow><mn>2</mn></msup></mrow></mfrac><mo>;</mo></mrow>]]></math><img file="FDA0000801074070000021.GIF" wi="577" he="175" /></maths>聚焦激光束能量高斯分布的标准偏差<img file="FDA0000801074070000022.GIF" wi="467" he="133" />x为纳米线上“艾里斑”内的某点到“艾里斑”圆心的距离,以“艾里斑”圆心为直角坐标系的原点,θ为“艾里斑”中所取点到原点的连线与x轴组成的夹角;ΔT=T<sub>1</sub>‑T<sub>0</sub>,T<sub>1</sub>为纳米线的沉积温度,T<sub>0</sub>为室温。
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