化学气相沉积或外延层生长反应器及其基片托盘和支撑轴

摘要

一种化学气相沉积或外延层生长反应器，所述反应器内设置至少一基片托盘及其支撑轴，所述基片托盘包括一第一表面和一第二表面，所述基片托盘的第二表面设置有至少一个向内凹陷的凹进部；所述支撑轴包括：主轴部；与所述主轴部的一端相连接、并沿所述主轴部外围向外延伸开来的支撑部，所述支撑部包括一延展面；以及与所述主轴部相连接、并沿着与所述主轴部相反的方向延伸一高度的插接部；所述延展面外围设置一支撑台，所述支撑台包括一支撑面，所述基片托盘的第二表面至少部分地与所述支撑台的支撑面接触，以实现支撑轴对基片托盘的支撑。所述支撑轴可以带动基片托盘实现平稳快速转动。

主权项

一种用于化学气相沉积或外延层生长反应器内的支撑轴，用以支撑基片托盘并带动其旋转，其特征在于：所述支撑轴包括：主轴部；与所述主轴部的一端相连接、并沿所述主轴部外围向外延伸开来的支撑部，所述支撑部包括一延展面；以及与所述主轴部相连接、并沿着所述延展面向与所述主轴部反方向延伸一高度的插接部；所述延展面上方环绕所述插接部设置一个或多个支撑台，所述支撑台包括支撑面用以支撑基片托盘，所述支撑面高于所述延展面一段距离。