一种金属腐蚀保护液及其应用

摘要

本发明公开了一种新型的金属腐蚀保护液及其应用，保护液组成是：1)5-40％水，优选10-30％；2)10ppm-3％含羧基聚合物；3)59-94％有机溶剂，该保护液不仅本身对铝、铜的腐蚀速率较低，同时具有操作简易且效果显著的特点。因此该新型的保护液在金属清洗和半导体晶片清洗等微电子领域具有良好的应用前景。

主权项

一种金属腐蚀保护液在维持含氟清洗液在漂洗过程中的腐蚀稳定中的应用，所述金属腐蚀保护液包含：1)水，质量百分含量为5‑40％；2)含羧基聚合物，质量百分含量为10ppm‑3％；3)有机溶剂，质量百分含量为59‑94％，其中，所述含羧基的聚合物是含羧基的均聚物和/或含羧基的共聚物和/或盐，所述含羧基的均聚物和/或含羧基的共聚物为选自聚马来酸酐、聚丙烯酸、聚甲基丙烯酸、丙烯酸与马来酸共聚物、苯乙烯与马来酸共聚物、丙烯腈与丙烯酸共聚物、乙烯与丙烯酸共聚物中的一种或多种，所述的盐是铵盐。