一种真空高精度窗口的实现方法及其装置

摘要

一种真空高精度窗口的实现方法及其装置属于光机电工程技术领域，目的在于解决现有技术中真空窗口存在的面形精度低的问题。本发明构建一种阶梯压差式的真空窗口的实现方法，安装座通过螺钉固定到安装接口上，窗口玻璃A通过压圈及密封圈Ａ、密封圈B和密封圈C安装到镜座Ａ上，多个柔性调整旋钮A圆周均布在所述镜座A和所述安装座之间；窗口玻璃B通过压圈及密封圈安装到镜座Ｂ上，金属波纹管Ｂ与镜座Ｂ及镜座A之间采用密封圈进行密封安装，多个柔性调整旋钮B圆周均布在所述镜座A和所述安装座B之间；采用n块窗口玻璃Ａ或窗口玻璃Ｂ连续安装。本发明的高精度真空窗口的实现方法及其装置操作简单、面形精度高、结构简单、方便拆卸和维护。

主权项

一种真空高精度窗口的实现方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一：采用n块窗口玻璃构成光学窗口，所述n块窗口玻璃水平依次设置，使每相邻的两块玻璃之间形成封闭腔；步骤二：对步骤一中形成的多个封闭腔进行抽真空处理；步骤三：在经步骤二抽真空处理的多个封闭腔内充入惰性气体，使多个封闭腔内的压力顺次递增；每块窗口玻璃通过调节与其对应的三个柔性调整旋钮的不同伸缩长度实现在垂直于光轴的平面内两维倾斜角度的微调。