一种紫外波段的高像质投影光学系统

摘要

本发明提出了一种紫外波段的高像质投影光学系统，用于将物平面的图像成像到像平面内。该紫外波段的高像质投影光学系统，沿其光轴方向包括透射组1、透射组2、透射组3、透射组4、透射组5、透射组6和透射组7，从光束入射方向依次排布透射组1具有正光焦度，透射组2具有负光焦度，透射组3具有正光焦度，透射组4具有负光焦度，透射组5具有负光焦度，透射组6具有正光焦度，透射组7具有正光焦度，本发明的紫外波段的高像质投影光学系统具有高像质，结构紧凑等优点，可将物平面的图像缩小0.25倍成像到像平面内。

主权项

一种紫外波段的高像质投影光学系统，沿其光轴方向依次包括透射组1、透射组2、透射组3、透射组4、透射组5、透射组6和透射组7，所有透射组均处于同一光轴，其特征在于，透射组1具有正光焦度，透射组2具有负光焦度，透射组3具有正光焦度，透射组4具有负光焦度，透射组5具有负光焦度，透射组6具有正光焦度，透射组7具有正光焦度；透射组1包括第一平板保护窗口(1)、第一正透镜(2)、第一负透镜(3)；透射组2包括第二负透镜(4)、第三负透镜(5)；透射组3包括第二正透镜(6)、第三正透镜(7)、第四正透镜(8)；透射组4包括第五正透镜(9)、第四负透镜(10)；透射组5包括第五负透镜(11)、第六负透镜(12)、第六正透镜(13)、第七正透镜(14)、第八正透镜(15)；透射组6包括第七负透镜(16)、第九正透镜(17)；透射组7包括第十正透镜(18)、第十一正透镜(19)、第八负透镜(20)、第十二正透镜(21)、第十三正透镜(22)、第二平板保护窗口(23)和像面(24)。