一种基于MEMS线加速度计的角加速度测量装置

摘要

本发明提供了一种基于MEMS线加速度计的角加速度测量装置，包括两块MEMS线加速度芯片和传感器圆盘，所述的传感器圆盘的圆心与转轴固连；两块MEMS线加速度芯片分别安装在传感器圆盘的边沿和圆心上，两块MEMS线加速度芯片的线加速度感应方向相互平行，并与传感器圆盘的半径方向垂直；当传感器圆盘随着转轴旋转时，将两块MEMS线加速度芯片输出的线加速度信号做差，就得到传感器圆盘的圆周旋转线加速度，再除以传感器圆盘的半径，就得到最终的旋转角加速度。本发明使角加速度传感器结构简单，可靠性高，并且在拥有较高的精度的同时，大大降低角加速度传感器成本。

主权项

一种基于MEMS线加速度计的角加速度测量装置，包括两块MEMS线加速度芯片和传感器圆盘，其特征在于：所述的传感器圆盘的圆心与转轴固连；两块MEMS线加速度芯片分别安装在传感器圆盘的边沿和圆心上，两块MEMS线加速度芯片的线加速度感应方向相互平行，并与传感器圆盘的半径方向垂直；当传感器圆盘随着转轴旋转时，将两块MEMS线加速度芯片输出的线加速度信号做差，就得到传感器圆盘的圆周旋转线加速度，再除以传感器圆盘的半径，就得到最终的旋转角加速度。