用于支撑基板的装置及基板真空腔室装置

摘要

本实用新型涉及用于支撑基板的装置及基板真空腔室装置。本文描述的实施方式大体涉及用于在真空腔室中支撑大面积基板的基板支撑装置。所述基板支撑件包括具有磁体设置在其中的外壳组件，以及耦接至所述外壳组件的支撑构件。磁性柱构件可固定地耦接至所述真空腔室的主体。所述外壳组件的尺寸可设计成将所述柱构件容纳在外壳组件内。在操作中，所述外壳组件可以配置成将所述柱构件收纳在外壳组件中。所述外壳组件和柱构件可保持磁性耦接，直至提供足够的力将所述外壳组件从所述柱构件分离。

主权项

一种用于支撑基板的装置，所述装置包括：外壳组件，所述外壳组件具有第一凹槽和第二凹槽形成在外壳组件中，所述第一凹槽和所述第二凹槽是用隔板分隔的；柱构件，所述柱构件配置成在所述第二凹槽内可滑动地设置；磁体，所述磁体设置在所述第一凹槽内邻近所述隔板；间隔件，所述间隔件设置在所述第一凹槽内邻近所述磁体；以及支撑构件，所述支撑构件设置在所述第一凹槽内邻近所述间隔件，其中所述支撑构件的至少一部分延伸出所述第一凹槽。