发明名称 | 一种扩散炉管尾气排放装置 | ||
摘要 | 本实用新型涉及太阳能电池领域,尤其涉及一种扩散炉管尾气排放装置。本实用新型提供的扩散炉管尾气排放装置,包括缓冲罐,所述缓冲罐的气体入口与扩散炉管的气体出口连通,所述缓冲罐的气体出口与排废管路连通,当排废出现波动时,首先抽出缓冲罐中的废气,而不会直接作用于炉管内部,使得炉管内部的气流仍可以保持稳定的状态,降低排废波动对扩散炉管中晶硅太阳能电池的扩散方阻的影响。 | ||
申请公布号 | CN204982136U | 申请公布日期 | 2016.01.20 |
申请号 | CN201520565064.6 | 申请日期 | 2015.07.30 |
申请人 | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 | 发明人 | 明伟辉;徐义胜 |
分类号 | C30B31/06(2006.01)I | 主分类号 | C30B31/06(2006.01)I |
代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人 | 张海英;林波 |
主权项 | 一种扩散炉管尾气排放装置,其特征在于:包括缓冲罐,所述缓冲罐的气体入口与扩散炉管的气体出口连通,所述缓冲罐的气体出口与排废管路连通。 | ||
地址 | 215011 江苏省苏州市高新区鹿山路199号 |