发明名称 一种扩散炉管尾气排放装置
摘要 本实用新型涉及太阳能电池领域,尤其涉及一种扩散炉管尾气排放装置。本实用新型提供的扩散炉管尾气排放装置,包括缓冲罐,所述缓冲罐的气体入口与扩散炉管的气体出口连通,所述缓冲罐的气体出口与排废管路连通,当排废出现波动时,首先抽出缓冲罐中的废气,而不会直接作用于炉管内部,使得炉管内部的气流仍可以保持稳定的状态,降低排废波动对扩散炉管中晶硅太阳能电池的扩散方阻的影响。
申请公布号 CN204982136U 申请公布日期 2016.01.20
申请号 CN201520565064.6 申请日期 2015.07.30
申请人 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 发明人 明伟辉;徐义胜
分类号 C30B31/06(2006.01)I 主分类号 C30B31/06(2006.01)I
代理机构 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人 张海英;林波
主权项 一种扩散炉管尾气排放装置,其特征在于:包括缓冲罐,所述缓冲罐的气体入口与扩散炉管的气体出口连通,所述缓冲罐的气体出口与排废管路连通。
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