激光共晶焊接装置

摘要

一种激光共晶焊接装置，其包括激光器，光束整形系统，激光凹透镜，激光凸透镜，激光聚焦镜，合束镜，镂空基台，需要共晶焊的基座、焊料和芯片，真空发生器及气管，吸嘴，激光测温仪及反馈系统，光路防尘罩，其特征在于，所述的激光器发出的光束沿水平方向出射到光束整形系统进行整形，所述的激光凹透镜和所述的激光凸透镜配合对整形后的光束扩束准直后入射到所述的激光聚焦镜上，所述的合束镜反射激光聚焦镜出射的激光穿过所述镂空基台，照射在需要共晶焊的基座上，所述激光测温仪发出的激光透过所述合束镜，照射到需要共晶焊的基座上，实时监控所述需要共晶焊的基座的温度由所述反馈系统反馈至激光器。

主权项

一种激光共晶焊接装置，其包括激光器，激光光束整形系统，激光凹透镜，激光凸透镜，激光聚焦镜，激光光束和激光测温仪光束的合束镜，镂空基台，需要共晶焊的基座、焊料和芯片，真空发生器及气管，吸嘴，激光测温仪及反馈系统，光路防尘罩，其特征在于：激光器用于发射激光光束，激光光束整形系统使高斯分布的激光光束变为能量密度分布均匀的平顶光束，激光凹透镜和所述的激光凸透镜配合实现扩束准直作用，扩束准之后的激光光束入射到所述激光聚焦镜上，和激光光束整形系统一起配合，将照射在需要共晶焊的基座上的激光光斑尺寸与芯片尺寸相匹配，激光光束与激光测温仪光束的合束镜反射激光光束，透射所述激光测温仪光束，经过合束镜反射的激光光束通过镂空基台照射到需要共晶焊的基座上，对需要共晶焊的基座进行加热，激光测温仪光束透过合束镜入射到需要共晶焊的基座上，实时测量需要共晶焊的基座的温度，通过反馈系统反馈给激光器。