一种半导体薄板工件的夹持装置

摘要

本实用新型公开一种半导体薄板工件的夹持装置，包括基座和设置在基座上可转动夹持工件的上夹臂和下夹臂。其中，所述夹持装置还包括驱动装置；所述驱动装置与用于推动上夹臂与下夹臂夹持工件的推块连接，推动推块移动；所述推块的推进距离与夹持装置夹持的工件厚度呈负相关关系；所述上夹臂与下夹臂之间设置有维持上夹臂与下夹臂张开的弹性件。所述夹持装置可以轻松适应不同厚度的薄板工件，且夹子夹持力大小及速度可以通过控制驱动装置的压力来实现，保证在夹紧工件时不损伤工件。

主权项

一种半导体薄板工件的夹持装置，包括基座和设置在基座上可转动夹持工件的上夹臂和下夹臂，其特征在于，所述夹持装置还包括驱动装置；所述驱动装置与用于推动上夹臂与下夹臂夹持工件的推块连接，推动推块移动；所述推块的推进距离与夹持装置夹持的工件厚度呈负相关关系；所述上夹臂与下夹臂之间设置有维持上夹臂与下夹臂张开的弹性件；所述上夹臂通过第一转轴与基座连接，下夹臂通过第二转轴与基座连接；所述上夹臂与下夹臂夹持工件的一端为夹持端，与夹持端相对的一端为驱动端；所述推块为楔形推块；所述楔形推块与上夹臂和下夹臂的驱动端连接，用于推动上夹臂和下夹臂分别绕第一转轴和第二转轴旋转；所述上夹臂与下夹臂的驱动端具体通过第一滚轮和第二滚轮与所述楔形推块连接；所述第一滚轮通过第一轴承与上夹臂转轴连接，第二滚轮通过第二轴承与下夹臂转轴连接；所述弹性件为设置在上夹臂与下夹臂驱动端外侧面的拉簧；所述拉簧为两个，对称设置在上夹臂和下夹臂的两侧；上夹臂和下夹臂上分别设置有上夹片和下夹片；所述驱动装置驱动推块的推进距离可调整；所述楔形推块的较窄一端设置有一延伸的平面。