旋转天线及包括该旋转天线的半导体装置

摘要

公开了一种旋转天线和设置有该旋转天线的半导体生产装置。该旋转天线包括多个线圈，该多个线圈并联到高频能量源并且以相对于轴成对称关系地围绕轴以规定间隔布置，其中，当所述线圈绕该轴旋转时，均匀地形成用于产生感应耦合等离子体的电磁场。

主权项

一种旋转天线，包括作为旋转中心轴的中心线圈和多个支线圈，所述多个支线圈并联到所述中心线圈，并且所述多个支线圈以相对于所述中心线圈成对称关系地围绕所述中心线圈以规定间隔布置，所述旋转天线附接到转子并与转子整体地旋转，其中，所述旋转天线旋转时，沿所述中心线圈的圆周方向均匀地形成用于产生感应耦合等离子体的电磁场。