面向集成电路检测的计算机辅助管理装置及方法和系统

摘要

本发明提供一种面向集成电路检测的计算机辅助管理装置，其特征在于，包括如下装置：工作台控制装置，其用于调整工作台的垂直位置以及水平位置；托盘控制装置，其用于调整托盘的水平度；光源控制装置，其用于控制光源使测量区域灰度值落在目标灰度值的容许波动范围内；图像采集装置，其用于放大并采集被观测物图像；尺寸测量装置，其用于根据所述被观测物图像输出几何尺寸信息。还提供相应的方法和系统。本发明通过采集被测物体图像后生成灰度曲线，然后根据灰度曲线自动确定被检测物图像的发生位置与结束位置，因此避免了因为人工点选位置而导致精度不高的问题。

主权项

一种面向集成电路检测的计算机辅助管理装置，其特征在于，包括如下装置：工作台控制装置，其用于调整工作台的垂直位置以及水平位置；托盘控制装置，其用于调整托盘的水平度；光源控制装置，其用于控制光源使测量区域灰度值落在目标灰度值的容许波动范围内；图像采集装置，其用于放大并采集被观测物图像；尺寸测量装置，其用于根据所述被观测物图像输出几何尺寸信息；所述尺寸测量装置还包括如下装置：尺寸补偿装置，其用于根据补偿值对宽度进行修正；所述尺寸测量装置包括如下装置：曲线生成装置，其用于生成所述被观测物图像的灰度曲线图像；测距点确定装置，其用于根据所述灰度曲线图像确定检测起点位置和检测终点位置；尺寸测量装置，其用于测量所述检测起点位置与检测终点位置之间的宽度值；所述尺寸测量装置用于多次测量所述检测起点位置与检测终点位置之间的宽度，若多次测量所得宽度数据的标准偏差小于第一阈值，则将多次测量所得宽度数据的平均值作为所述宽度值；所述工作台控制装置包括如下装置：聚焦行程控制装置，其用于控制工作台沿Z方向扫描的行程；聚焦速度控制装置，其用于控制工作台的移动速度。