| 主权项 |
立式大量程高精度光学平面测试装置，其特征在于，该装置包括升降支腿(9)、支撑底台(10)、水平转台(11)、配重块(12)、垂直精密转台(13)、连接轴(14)、长导轨承载板(15)、第一反射镜(16)、第二反射镜(17)、第一测角装置(18)、第二测角装置(19)、长导轨(20)、电控系统(23)和数据采集分析系统(22)，支撑底台(10)固定在升降支腿(9)上，水平转台(11)置于支撑底台(10)上，垂直精密转台(13)置于水平转台(11)上，配重块(12)固定在垂直精密转台(13)的一端，连接轴(14)的一端固定在垂直精密转台(13)的一端，长导轨承载板(15)固定在连接轴(14)的另一端，长导轨(20)固定在长导轨承载板(15)上；电控系统(23)与垂直精密转台(13)和长导轨(20)的内部电路驱动部件连接，用于控制垂直精密转台(13)的转动角度和长导轨(20)上承载的第一反射镜(16)和第二反射镜(17)的直线移动位置；数据采集分析系统(22)与第一测角装置(18)和第二测角装置(19)连接，用于采集与计算分析测角数据；第一反射镜(16)与第二反射镜(17)分别滑动连接在长导轨(20)上，第一测角装置(18)与第二测角装置(19)均固定在长导轨(20)上，被测试平面反射镜(21)位于长导轨(20)的前方，第一测角装置(18)发出的光线经过第一反射镜(16)反射后入射到被测试平面反射镜(21)上，经被测试平面反射镜(21)反射后由第一测角装置(18)接收；第二测角装置(19)发出的光线经过第二反射镜(17)反射后入射到被测试平面反射镜(21)上，经被测试平面反射镜(21)反射后由第二测角装置(19)接收；所述第一测角装置(18)与第二测角装置(19)均为带有自准光源的哈德曼波前测试仪。 |
