| 主权项 |
一种磁传感器装置的制造方法，所述磁传感器装置具备：具有一面(13、15、18)的基板(10、14、16)；和形成于所述基板(10、14、16)的一面(13、15、18)的上方的多个磁阻元件部(22)，该磁阻元件部(22)具有磁化方向因外部磁场而变化的自由磁性层(22c)、和固定了磁化方向的钉扎磁性层(22a)，一部分磁阻元件部(22)的所述钉扎磁性层(22a)的磁化方向，在与所述基板(10、14、16)的一面(13、15、18)平行的平面上，与其他磁阻元件部(22)的所述钉扎磁性层(22a)的磁化方向不同，在向所述各磁阻元件部(22)施加外部磁场的情况下，根据所述各磁阻元件部(22)的电阻值的变化来检测物理量，其特征在于，准备所述基板(10、14、16)，在所述基板(10、14、16)的一面(13、15、18)的上方形成所述各磁阻元件部(22)，分别形成与所述各磁阻元件部(22)对应的加热器部(30)，在外部磁场方向被设定为所述平面上的第1方向的外部磁场中，配置形成有所述各磁阻元件部(22)的所述基板(10、14、16)，通过加热与所述多个磁阻元件部(22)中的一部分对应的一部分加热器部(30)，进行磁场中退火，从而将该一部分的磁阻元件部(22)的钉扎磁性层(22a)的磁化方向，充磁为所述第1方向，所述第1方向是所述平面上的某个方向，在外部磁场方向被设定为所述平面上的与所述第1方向不同的第2方向的外部磁场中，配置形成有所述各磁阻元件部(22)的所述基板(10、14、16)，通过加热与不同于所述多个磁阻元件部(22)的一部分的另一部分对应的加热器部(30)，进行磁场中退火，从而将该另一部分的磁阻元件部(22)的钉扎磁性层(22a)的磁化方向，充磁为所述第2方向。 |
