一种基于非对称垂直狭缝波导的偏振旋转器

摘要

本发明公开了一种基于非对称垂直狭缝(slot)波导的偏振旋转器，其包括：入射端波导，其用于导入外部入射的光；模式转换波导，其用于将TE/TM模入射光转化为TM/TE模出射光；出射端波导，其用于导出TM/TE模；其中，入射端波导、模式转换波导和出射端波导均为不对称狭缝波导。该结构在纵向上打破了材料的对称性，横向上打破了几何尺寸的对称性，从而使得特定波导中的本征模式是混合模式，两个本征混合模式之间可以实现相互转化，最终实现TE模和TM模之间的相互转化。该偏振旋转器可以利用一次刻蚀将TE/TM转化为TM/TE模，大大减小了器件制作难度。

主权项

一种基于非对称垂直狭缝波导的偏振旋转器，其包括：入射端波导，其用于导入外部入射的光；模式转换波导，其用于将TE/TM模入射光转化为TM/TE模出射光；出射端波导，其用于导出TM/TE模；其中，入射端波导、模式转换波导和出射端波导均为不对称狭缝波导；所述入射端波导和出射端波导狭缝两边的硅波导宽度恒定，而模式转换波导狭缝一边的硅波导宽度恒定，另一边硅波导宽度渐变；所述模式转换波导包括输入转换波导、中间转换波导、输出转换波导；所述输入转换波导、中间转换波导和输出转换波导首尾相接，所述输入转换波导初始端与入射端波导相连，输出转换波导末端与出射端波导相连。