| 摘要 |
포토리소그래픽 레티클을 검사하기 위한 장치 및 방법들이 개시되어 있다. 레티클 검사 도구는 레티클의 복수의 트레이닝 영역들의 이미지들을 얻기 위하여 하나 이상의 동작 모드들에서 이용되고, 트레이닝 영역들은 결함 없는 것으로서 식별된다. 3 개 이상의 기본 트레이닝 이미지들은 트레이닝 영역들의 이미지들로부터 유도된다. 분류자는 3 개 이상의 기본 트레이닝 이미지들에 기초하여 형성된다. 검사 시스템은 레티클의 복수의 테스트 영역들의 이미지들을 얻기 위하여 하나 이상의 동작 모드들에서 이용된다. 3 개 이상의 기본 테스트 이미지들은 테스트 영역들로부터 유도된다. 분류자는 테스트 영역들에서 결함들을 발견하기 위하여 3 개 이상의 기본 테스트 이미지들에 적용된다. |
