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发明名称 樹脂膜のパターニング方法およびそれを用いたセンサの製造方法
摘要
申请公布号 JP5846077(B2) 申请公布日期 2016.01.20
申请号 JP20120183194 申请日期 2012.08.22
申请人 株式会社デンソー;北陸電気工業株式会社 发明人 宮下 耕一;新美 直久;中川 大樹;宮田 愛子;松井 健朗
分类号 H01L21/3065 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
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