一种微晶铝化物涂层制备方法

摘要

一种微晶铝化物涂层制备方法，其特征在于：制备过程在真空中进行；采用真空阴极电弧蒸发方法产生高密度等离子体；在工件上施加高频脉冲负偏压，使等离子体中金属离子注入到工件表层内部，并形成亚微米级晶粒的铝化物涂层。本发明的优点：涂层晶粒度达到亚微米级，抗高温腐蚀性能优于简单铝化物涂层；制备过程中不需要加热工件，对基体组织和力学性能影响小，并可减少能源消耗；涂层结构致密，结合力优于电子束物理气相沉积、磁控溅射和电弧离子镀的NiAl涂层；工艺性能和工业放大性优于电子束物理气相沉积、磁控溅射和电弧离子镀NiAl涂层。涂层质量稳定性好，生长速率高；工作环境好，不会产生环境污染问题。

主权项

一种微晶铝化物涂层制备方法，其特征在于：制备过程在真空中进行；采用真空阴极电弧蒸发方法产生高密度等离子体；在工件上施加高频脉冲负偏压，使等离子体中金属离子注入到工件表层内部，并形成亚微米级晶粒的铝化物涂层。