发明名称 一种铈、钛前驱复合树脂砂轮及其制备方法
摘要 本发明公开了一种铈、钛前驱复合树脂砂轮,它是由下述重量份的原料组成的:八水碳酸铈40-50、硫酸钛30-40、25-28wt%氨水80-100、双氧水1-2、CBN磨料570-600、苯酚90-100、35-40%甲醛溶液96-110、硼酸5-7、六次甲基四胺2-6、苯胺13-20、硬脂酸4-7、石墨粉10-16、氧化钙3-6。本发明采用八水碳酸铈为铈源,硫酸钛为钛源,六亚甲基四胺为沉淀剂,得到复合磨料,该磨料可以改善成品砂轮的硬度,特别适用于硅晶片热氧化层的化学机械抛光。
申请公布号 CN105252437A 申请公布日期 2016.01.20
申请号 CN201510651492.5 申请日期 2015.10.09
申请人 芜湖市鸿坤汽车零部件有限公司 发明人 黄浩
分类号 B24D3/28(2006.01)I;B24D3/34(2006.01)I;B24D18/00(2006.01)I;C08G8/28(2006.01)I;C09K3/14(2006.01)I 主分类号 B24D3/28(2006.01)I
代理机构 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 代理人 余成俊
主权项 一种铈、钛前驱复合树脂砂轮,其特征在于它是由下述重量份的原料组成的:八水碳酸铈40‑50、硫酸钛30‑40、25‑28wt%氨水80‑100、双氧水1‑2、CBN磨料570‑600、苯酚90‑100、35‑40%甲醛溶液96‑110、硼酸5‑7、六次甲基四胺2‑6、苯胺13‑20、硬脂酸4‑7、石墨粉10‑16、氧化钙3‑6。
地址 241000 安徽省芜湖市三山区三山街办事处三山村