发明名称 |
一种铈、钛前驱复合树脂砂轮及其制备方法 |
摘要 |
本发明公开了一种铈、钛前驱复合树脂砂轮,它是由下述重量份的原料组成的:八水碳酸铈40-50、硫酸钛30-40、25-28wt%氨水80-100、双氧水1-2、CBN磨料570-600、苯酚90-100、35-40%甲醛溶液96-110、硼酸5-7、六次甲基四胺2-6、苯胺13-20、硬脂酸4-7、石墨粉10-16、氧化钙3-6。本发明采用八水碳酸铈为铈源,硫酸钛为钛源,六亚甲基四胺为沉淀剂,得到复合磨料,该磨料可以改善成品砂轮的硬度,特别适用于硅晶片热氧化层的化学机械抛光。 |
申请公布号 |
CN105252437A |
申请公布日期 |
2016.01.20 |
申请号 |
CN201510651492.5 |
申请日期 |
2015.10.09 |
申请人 |
芜湖市鸿坤汽车零部件有限公司 |
发明人 |
黄浩 |
分类号 |
B24D3/28(2006.01)I;B24D3/34(2006.01)I;B24D18/00(2006.01)I;C08G8/28(2006.01)I;C09K3/14(2006.01)I |
主分类号 |
B24D3/28(2006.01)I |
代理机构 |
安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 |
代理人 |
余成俊 |
主权项 |
一种铈、钛前驱复合树脂砂轮,其特征在于它是由下述重量份的原料组成的:八水碳酸铈40‑50、硫酸钛30‑40、25‑28wt%氨水80‑100、双氧水1‑2、CBN磨料570‑600、苯酚90‑100、35‑40%甲醛溶液96‑110、硼酸5‑7、六次甲基四胺2‑6、苯胺13‑20、硬脂酸4‑7、石墨粉10‑16、氧化钙3‑6。 |
地址 |
241000 安徽省芜湖市三山区三山街办事处三山村 |