激光加工装置及使用激光加工装置的被加工物的加工方法

摘要

提供一种即使光束轮廓相对于行进方向并非各向同性，亦可减少朝正交的两个方向进行加工时的加工精度不均的激光加工装置及使用激光加工装置的被加工物的加工方法。激光加工装置的光学系统包括：分支机构，使从激光光源出射的激光分成第一分支光及第二分支光；转换机构，使第二分支光的光束轮廓以行进方向为轴旋转90°；光路共通化机构，使第一分支光的光路及经过转换机构的第二分支光的光路在到达聚光透镜为止的一个照射用光路上共通化；以及选择性阻断机构，在分支机构与光路共通化机构之间，选择性地阻断第一分支光及第二分支光；且通过切换利用选择性阻断机构阻断的光，可以对固定在平台部的被加工物选择性地照射具有同一光束轮廓且朝向正交的2种激光中的任一种。

主权项

一种激光加工装置，其照射激光来加工被加工物，其特征在于包括：平台部，固定被加工物；及光学系统，使由激光光源出射的激光从聚光透镜向固定在上述平台部的上述被加工物照射；且上述光学系统包括：分支机构，使从上述激光光源出射的上述激光分成第一分支光及第二分支光；转换机构，使上述第二分支光的光束轮廓以行进方向为轴旋转90°；光路共通化机构，使上述第一分支光及经过上述转换机构的上述第二分支光的各自的到达上述聚光透镜为止的照射用光路共通化；以及选择性阻断机构，在上述分支机构与上述光路共通化机构之间，选择性地阻断上述第一分支光及上述第二分支光；且当将经过上述光路共通化机构的上述第一分支光设为第一照射用激光，将经过上述共通化机构的上述第二分支光设为第二照射用激光时，通过切换利用上述选择性阻断机构的对上述第一分支光及上述第二分支光的阻断，可以对固定在上述平台部的上述被加工物选择性地照射具有同一光束轮廓且朝向为正交的上述第一照射用激光及上述第二照射用激光中的任一者。