电容传感器及其制造方法和具该电容传感器的多功能元件

摘要

本发明公开一种电容传感器、其制造方法以及具此种电容传感器的多功能元件。其中的电容传感器包括一基材、第一电极与第二电极与至少一支承梁结构。上述基材具有一开口，而第二电极是相对基材配置，其中第二电极具有相对上述开口的一部位及其周围的一周边部位，且部位与周边部位是不连续结构。至于第一电极是悬置于基材的开口与第二电极之间，且第一电极与上述第二电极之间具有一间隙。支承梁结构则连结基材并支撑第二电极的部位及第一电极。

主权项

一种电容传感器，其特征在于所述电容传感器包括：基材，具有开口；第二电极，相对该基材配置，其中该第二电极具有相对该开口的一中央部位及其周围的一周边部位，且该中央部位与该周边部位之间是不连续结构；第一电极，悬置于该基材的该开口与该第二电极之间，且该第一电极与该第二电极之间具有一间隙；以及至少一支承梁结构，连结该基材并支撑该第二电极的该中央部位以及该第一电极。