| 发明名称 | 85kg至120kg蓝宝石晶体生长自动化控制方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了85kg至120kg蓝宝石晶体生长自动化控制方法，包括蓝宝石晶体引晶步骤，在单晶炉内设置用于测量晶体重量的电子称重器，电子称重器将重量信号发送到PLC控制系统，蓝宝石晶体引晶完毕后，PLC根据晶体重量判断晶体生长过程中所处阶段，调出对应阶段的工艺参数包，通过PID调节；当电子称重器测量晶体净重超过3kg～5kg后，PLC调整温度降幅，控制蓝宝石晶体等径生长；当电子称重器测量晶体重量超过45kg～70kg后，PLC调整温度降幅控制蓝宝石晶体生长收尾；当PLC计算加热器功率降幅超过15％～20％后，自动转入到冷却充气阶段，完成脱锅，结束生长。 | ||
| 申请公布号 | CN103710745B | 申请公布日期 | 2016.01.20 |
| 申请号 | CN201310731033.9 | 申请日期 | 2013.12.26 |
| 申请人 | 南京晶升能源设备有限公司 | 发明人 | 李辉;王辉辉;姜宏伟;毛洪英 |
| 分类号 | C30B17/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I | 主分类号 | C30B17/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人 | 胡建华 |
| 主权项 | 一种85kg至120kg蓝宝石晶体生长自动化控制方法，包括，蓝宝石晶体引晶步骤，其特征在于，在单晶炉内设置用于测量晶体重量的电子称重器，电子称重器将重量信号发送到PLC控制系统，蓝宝石晶体引晶完毕后，PLC根据晶体重量判断晶体生长过程中所处阶段，调出对应阶段的工艺参数包，通过PID调节，将实际计算的生长速率与参数包中的数据进行匹配，并调整温度变化；当电子称重器测量晶体净重达到3kg～5kg后，PLC调整温度降幅，控制蓝宝石晶体等径生长；当电子称重器测量测量晶体重量达到45kg～70kg后，PLC调整温度降幅控制蓝宝石晶体生长收尾；当PLC计算单晶炉加热器功率降幅达到15％～20％后，自动转入到冷却充气阶段，完成脱锅，结束蓝宝石晶体生长。 | ||
| 地址 | 210000 江苏省南京市经济技术开发区恒发路30号 | ||