一种等离子体处理装置中的电路结构

摘要

本实用新型提供一种等离子体处理装置中的电路结构，该等离子体处理装置中的电路结构包括上电极组、下电极组、第一开关和第二开关。上电极组包括至少一个上电极。下电极组包括至少一个下电极。下电极组的下电极支撑被处理物体。上电极组通过第一开关接地。下电极组通过第二开关接地。

主权项

一种等离子体处理装置中的电路结构，其特征在于，该等离子体处理装置中的电路结构包括：上电极组，所述上电极组包括至少一个上电极；下电极组，所述下电极组包括至少一个下电极，所述下电极组的下电极支撑被处理物体；第一开关，所述上电极组通过所述第一开关接地；和第二开关，所述下电极组通过所述第二开关接地。