折射率测定装置以及折射率测定方法

摘要

折射率测定装置（1）具有：光源（10）；测定单元（12、22），其包含作为折射率的测定对象的样品（124、226），使从光源入射的光发生衍射；检测器（13），其检测包含除从测定单元出射的衍射光的0级之外的衍射级的至少一个衍射级的光量；控制部（15），其求出与由检测器检测到的至少一个衍射级的衍射光光量的测定值相对应的样品的折射率。测定单元具有：相对地被配置的第1基板（121、221）以及第2基板（122、222）、配置在第1与第2基板之间的衍射光栅（123、225），衍射光栅具有在平行于第1基板面的方向上的宽度随着从第1基板接近到第2基板呈阶梯状地变小的多个构件，作为折射率的测定对象的样品（124、226）被充填到第1与第2基板之间的空间中的没有形成衍射光栅的空间里。

主权项

一种折射率测定装置，其特征在于，包括：光源；测定单元，其包含作为折射率的测定对象的样品，且使从所述光源入射的光发生衍射；检测器，其对包含从所述测定单元出射的衍射光的0级之外的衍射级的多个衍射级的光量进行检测；控制部，其采用所述多个衍射级中0级之外的衍射级的衍射效率与所述样品的折射率的关系式，求出与由所述检测器检测到的所述多个衍射级中0级之外的衍射级的衍射光光量的测定值相对应的所述样品的折射率，所述测定单元具有：相对配置的透明的第1基板以及第2基板；衍射光栅，其配置在所述第1基板与所述第2基板之间，由具有已知折射率的透明材料形成，根据所述样品的折射率与所述透明材料的折射率之差来使来自所述光源的光发生衍射，所述衍射光栅具有由所述透明材料形成的多个构件，所述多个构件的平行于与所述第2基板相对的所述第1基板的第1表面的第1方向上的宽度，随着从所述第1基板接近所述第2基板呈阶梯状地变小，该多个构件为沿着所述第1方向以规定间距被周期地配置的二元光栅，所述样品被充填到所述第1基板与所述第2基板之间的空间中的没有形成所述衍射光栅的空间，所述控制部，对于各个所述多个衍射级中0级之外的衍射级，基于所述衍射光光量的测定值求出该衍射级的衍射效率的第1计算值，在所述多个衍射级中0级之外的衍射级中按所述衍射效率的第1计算值从高到低的顺序选择至少两个衍射级，将被假定为所述样品的折射率的多个折射率中的、所述被选择的衍射级的衍射效率的第1计算值与通过将所述假定的折射率代入到所述关系式求出的所述被选择的衍射级的衍射效率的第2计算值之间的误差的统计量达最小的折射率，定为所述样品的折射率。