一种离子束抛光设备中工件夹具的定位装置

摘要

本发明公开了一种离子束抛光设备中工件夹具的定位装置，其采用水平固定安装的作为定位基准的环形定位盘和卡盘式工件夹具相互作用的方案实现工件夹具的定位。环形定位盘上表面有凸起的水平定位平面、沿定位盘周边对称布置的举升装置以及定位销，夹具上有能与定位盘上水平定位平面相贴合的定位平面以及能与定位盘上的定位销一一对应的定位孔。举升装置将装夹好工件的夹具托升到一定高度后慢慢下降，使两定位平面完全贴合及所有定位销插入定位孔，实现工件夹具的定位。本发明的定位基准在同一个部件上面，装调较为容易，只要调节好基准，夹具通过其重力作用就可完成定位，动作简单；定位运动速度可控，能缓慢地完成定位操作，能大幅降低和消除震动。

主权项

一种离子束抛光设备中工件夹具的定位装置，采用固定安装用作基准的基准件和卡盘式工件夹具相互作用的结构方案，其特征在于：用作基准的基准件包括环形定位盘(1)、定位销(2)和举升装置(3)，环形定位盘(1)周边有均匀分布的安装孔(102)、下凹的圆形定位销安装面(103)，并且上表面有凸起的水平定位平面(101)，举升装置(3)沿环形定位盘(1)圆周边均匀布置，且举升方向垂直于水平定位平面(101)，定位销(2)安装于环形定位盘的圆形定位销安装面(103)内；卡盘式工件夹具设置有定位孔(401)和凸起的水平基面(402)，所述卡盘式工件夹具定位孔(401)和所述环形定位盘(1)上的定位销(2)位置一一对应，定位销全部插入所述卡盘式工件夹具上的定位孔(401)，实现中心定位和绕中心轴旋转定位，所述环形定位盘(1)上的水平定位平面(101)和所述卡盘式工件夹具上的水平基面(402)能相互贴合，实现水平定位。