发明名称 离子感测场效晶体管
摘要 一种离子感测场效晶体管,其包括一载子阻陷迭层、一栅极、一通道层、一源极、一漏极以及一感测薄膜。栅极与通道层配置于载子阻陷迭层的二相对侧,源极以及漏极与通道层电性连接。感测薄膜配置于通道层上,且通道层位于载子阻陷迭层与感测薄膜之间。
申请公布号 CN105261640A 申请公布日期 2016.01.20
申请号 CN201510740662.7 申请日期 2015.11.04
申请人 友达光电股份有限公司 发明人 卓恩宗;赖朝松;章钧;杨家铭;游镇宇;卓祯福;林志豪;赖颖辉;江明峯;陈嘉新
分类号 H01L29/772(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I 主分类号 H01L29/772(2006.01)I
代理机构 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人 梁挥;鲍俊萍
主权项 一种离子感测场效晶体管,其特征在于,包括:一载子阻陷迭层;一栅极;一通道层,该栅极与该通道层配置于该载子阻陷迭层的二相对侧;一源极与一漏极,与该通道层电性连接;以及一感测薄膜,配置于该通道层上,且该通道层位于该载子阻陷迭层与该感测薄膜之间。
地址 中国台湾新竹科学工业园区新竹市力行二路1号