| 发明名称 | 被限位的膜 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种MEMS的被限位的膜。所述MEMS的被限位的膜包括第一层和第二结构。所述第一层具有外部段和内膜。所述外部段和内膜通过间隙彼此分开并具有内膜突起和外部段突起，内膜突起和外部段突起通过所述间隙形成的。第二结构耦接至所述外部段并具有叠置在对应的内膜突起上方的第二突起。 | ||
| 申请公布号 | CN105263851A | 申请公布日期 | 2016.01.20 |
| 申请号 | CN201480030777.0 | 申请日期 | 2014.06.02 |
| 申请人 | 罗伯特·博世有限公司 | 发明人 | J·W·津恩 |
| 分类号 | B81B3/00(2006.01)I;H04R19/00(2006.01)I;H04R19/01(2006.01)I | 主分类号 | B81B3/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 周家新 |
| 主权项 | 一种MEMS的被限位的膜，所述MEMS的被限位的膜包括：第一层，所述第一层具有外部段和内膜，所述外部段和所述内膜通过间隙彼此分开，所述内膜具有内膜突起并且所述外部段具有外部段突起，所述内膜突起与所述外部段突起通过所述间隙形成；以及第二结构，所述第二结构耦接至所述外部段并具有叠置在对应的内膜突起上方的第二突起。 | ||
| 地址 | 德国斯图加特 | ||