辐射固化的涂层

摘要

一种用于涂覆基片的工艺包括将可辐射固化材料凝结在基片上并使用具有6.5eV与300eV之间能量的电子通量6’使材料固化。电子通量6’与前驱体材料(5’)的传输同时或在此之后指向基片(2)处。较佳地，在空间上和时间上与将材料传输至基片同步地开始固化。较佳地使用具有相对于局部电压状况为负的驱动电压的低压气体等离子体源来产生电子通量。低压气体等离子体(6’)较佳地被磁性增强，并且例如结合有磁控管。

主权项

一种用于涂覆基片的工艺，所述工艺包括将可辐射固化材料凝结到基片上，其特征在于，用具有6.5eV和300eV之间能量的电子通量来固化所述材料，所述电子通量从低压气体等离子体中取得。